微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片及传感器第5部分：电路设计及测试

Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS) material corrosion chip and sensor—Part 5: Circuit design and testing

T/CSCP 0059.5-2025现行团体标准

标准状态

发布于：2025-09-01

实施于：2025-10-01

废止

标准号T/CSCP 0059.5-2025

标准状态现行

发布日期2025-09-01

实施日期2025-10-01

国际标准分类号77.060 金属的腐蚀

发布部门中国腐蚀与防护学会

团体名称中国腐蚀与防护学会

起草单位北京科技大学、中国电力科学研究院有限公司、南方电网科学研究院有限公司、广州天韵达新材料科技有限公司、国家材料腐蚀与防护科学数据中心、北京材料基因工程高精尖创新中心、广州市南沙区贝科耐蚀新材料研究院、中国铁道科学研究院集团有限公司

起草人杨小佳、李晓刚、程学群、郝文魁、黄路遥、张强、卢壹梁、黄增浩、陈云、孙雷、李清、徐迪、朱仁政、廖永力、杨国威、张达威、刘超、杨体绍、杨吉可、杜翠薇、刘智勇、张博威、骆鸿、韩钰、马宏驰

本文件规定了MEMS材料腐蚀芯片及传感器电路设计要求、性能要求及测试方法。本文件适用于各类MEMS材料腐蚀芯片及传感器的电路设计、验证测试及质量评价。