半导体设备用全氟醚橡胶密封制品
Perfluoro ether rubber sealing products for semiconductor equipment
标准状态
发布于：2025-03-21
实施于：2025-04-21
废止
基本信息
T/CASME 1953-2025
现行
2025-03-21
2025-04-21
中国中小商业企业协会
中国中小商业企业协会
江苏多肯新材料有限公司、安徽多肯创新科技有限公司、扬州曼特勒尔材料科技有限公司
刘韬、徐丹、刘雪莲
标准简介
本文件适用于工作温度范围为-45℃～320℃的半导体设备用全氟醚橡胶密封制品的制造、检验。
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