微机电系统(MEMS)技术微几何量评定总则
Micro-electromechanical system technology - General rules for the assessment of micro-geometrical parameters
标准状态
发布于：2011-01-10
实施于：2011-10-01
废止
基本信息
GB/T 26113-2010
现行
2011-01-10
2011-10-01
国家标准委
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
国家标准委
中机生产力促进中心、天津大学、西安交通大学、中原工学院
丁红宇、张苹、景蔚萱、刘伟、蒋庄德
标准简介
本标准规定了微几何量的评定基本原则、评定要素、评定程序、评定方法以及评定规则。 本标准适用于企业、研究机构、检测机构等从事微机电技术及产品的研究、设计、生产、检测。
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