电子特气 一氧化氮
Electronic specialty gas—Nitric oxide
标准状态
发布于：2023-08-06
实施于：2024-03-01
废止
基本信息
GB/T 42721-2023
现行
2023-08-06
2024-03-01
国家标准委
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
国家标准委
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
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标准简介
本文件规定了一氧化氮的技术要求、采样、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及安全信息的要求。 本文件适用于集成电路等电子工业制造中使用的电子用一氧化氮。
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