电子工业用气体 四氟化硅
Gases for electronic industry―Silicon tetrafluoride
标准状态
发布于：2014-12-22
实施于：2015-07-01
废止
基本信息
GB/T 31058-2014
现行
2014-12-22
2015-07-01
国家标准委
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
国家标准委
核工业理化工程研究院华核新技术开发公司、绿菱电子材料（天津）有限公司、贵州大学、佛山市华特气体有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、西南化工研究设计院有限公司
邓建平、李于教、崔学文、方华、傅铸红、汤有伦
标准简介
本标准规定了四氟化硅的技术要求、试验方法、标志、包装、运输和贮存等内容。 本标准适用于萤石硫酸法、六硅酸盐热分解法、单质硅直接化法制备的四氟化硅它主要用作电子工业中等离子蚀刻、发光二极管P形掺杂、离子注入工艺、外延沉积扩散的硅源和光导纤维用高纯石英玻璃的原料，也是生产多晶硅的重要原料。 分子式：SiF4。 相对分子质量：104.0786128（按2009年国际原子相对质量）。
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