扩散炉能源消耗规范
标准状态
发布于：2013-10-17
实施于：2013-12-01
废止
基本信息
SJ/T 11451-2013
现行
2013-10-17
2013-12-01
31.550
工业和信息化部
中国电子技术标准化研究所
北京七星华创电子股份有限公司、信息产业部节能监测中心
李补忠、盛金龙 等
标准简介
本标准规定了扩散炉能源消耗指标、计算原则、计算方法和评价原则。本标准适用于电子行业各企业元器件生产运行中的工作温度在400℃~1350℃的扩散/氧化、退火、合金工艺使用的扩散炉。
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