晶体硅光伏电池用等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备 第2部分：板式 PECVD 设备
标准状态
发布于：2022-10-20
实施于：2023-01-01
废止
基本信息
SJ/T 11829.2-2022
现行
2022-10-20
2023-01-01
31.55
工业和信息化部
全国半导体设备利材料标准化技术委员会
全国半导体设备利材料标准化技术委员会
湖南红太阳光电科技有限公司、中国电子科技集团公司第四十八研究所、中国电子技术标准化研究院
许烁烁、范迎新、吴得铁、、龙会跃、彭宜昌、陈特超、蔡先武、宋秀云、童芳、冯亚彬
标准简介
本文件规定了晶体硅光伏电池用板式等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备（以下简称“板式PECVD设备”）的术语和定义、型号命名、工作环境、要求、检验方法、检验规则以及包装、标志、搬运和运输、贮存等。 本文件适用于晶晶体硅光伏电池用板式PECVD设备，产品主要用于多种薄膜材料，例如，非晶硅（a-Si:H）、微晶硅(ue-Si:H)、二氧化硅(SiO2)、氧化铝(AI3O3)、氮化硅薄膜等本征薄膜以及各种掺杂薄膜材料等，薄膜光伏电池，柔性光伏电池用PECVD也可参照使用。
内容预览
