电子特气 六氯乙硅烷
Electronic specialty gas—Hexachlorodisilane
标准状态
发布于：2023-08-06
实施于：2024-03-01
废止
基本信息
GB/T 42720-2023
现行
2023-08-06
2024-03-01
国家标准委
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
国家标准委
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
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标准简介
本文件规定了六氯乙硅烷的技术要求、采样、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及安全信息的要求。 本文件适用于由生产多晶硅副产的六氯乙硅烷经纯化制备的电子用六氯乙硅烷。
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