半导体用磁悬浮自轴承洁净泵技术规范

Technical specification for maglev self-bearing clean pump for semiconductor applications

GB/T 47926-2026即将实施国家标准

标准状态

发布于：2026-07-30

实施于：2027-02-01

废止

标准号GB/T 47926-2026

标准状态即将实施

发布日期2026-07-30

实施日期2027-02-01

中国标准分类号J71 泵

国际标准分类号23.080 泵

主管部门国家标准委

发布部门国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会

技术归口国家标准委