圆形石英玻璃光掩模基板规范

Specification for round quartz photomask substrates

GB/T 16523-1996现行国家标准

标准状态

发布于：1996-09-09

实施于：1997-05-01

废止

标准号GB/T 16523-1996

标准状态现行

发布日期1996-09-09

实施日期1997-05-01

中国标准分类号L90 电子技术专用材料

国际标准分类号31.200 集成电路、微电子学

主管部门国家标准委

技术归口国家标准委

起草单位长沙韶光微电子总公司

本标准规定了圆形石英玻璃光掩模基板的技术要求、试验方法等内容。本标准适用于圆形石英玻璃光掩模基板。