电子工业用气体六氟化硫

Gases for electronic industry―Sulphur hexaflouride

GB/T 18867-2014已废止国家标准

标准状态

发布于：2014-12-22

实施于：2015-07-01

已废止

标准号GB/T 18867-2014

标准状态已废止

发布日期2014-12-22

实施日期2015-07-01

中国标准分类号G86 工业气体与化学气体

国际标准分类号71.100.20 工业气体

主管部门国家标准委

发布部门中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

技术归口国家标准委

代替标准GB/T 18867-2002

起草单位黎明化工研究设计院有限责任公司、青海信禾高精化工有限公司、四川众力氟业有限责任公司、大连大特气体有限公司、上海仪盟电子科技有限公司、成都科美特氟业塑胶有限公司、佛山市华特气体有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、四川中测标物科技有限公司

起草人黄晓磊、牛学坤、刘长庆、任清贵、赖明贵、傅涛

本标准规定了六氟化硫的技术要求、试验方法、标志、包装、贮存及安全等。本标准适用于硫与氟直接反应并经精制和纯化制备的六氟化硫。该产品主要用作电子工业中化学气相沉积室的清洗剂和等离子蚀刻剂等。