自动砂轮划片机
标准状态
发布于：2016-01-15
实施于：2016-06-01
废止
基本信息
SJ/T 10479-2016
现行
2016-01-15
2016-06-01
31.550
工业和信息化部
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
SJ/T 10479-1994
沈阳仪表科学研究院有限公司、国家仪器仪表元器件质量监督检测中心、晶能光电（江西）有限公司等
张仕卿、曾艳丽、刘光恒 等
标准简介
本标准规定了自动砂轮划片机（划片过程自动化，以下简称“划片机”）的技术要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输和储存等。 本标准适用于切割分离硅片的划片机，产品也可以用于切割分离石英、玻璃、陶瓷、铌酸锂、砷化镓和磁钢等脆硬材料。
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