碳化硅单晶片微管密度的测定化学腐蚀法

Test method for measuring micropipe density of monocrystalline silicon carbide wafers―Chemically etching

GB/T 30868-2014已废止国家标准

标准状态

发布于：2014-07-24

实施于：2015-02-01

已废止

标准号GB/T 30868-2014

标准状态已废止

发布日期2014-07-24

实施日期2015-02-01

中国标准分类号H83 化合物半导体材料

国际标准分类号29.045 半导体材料

主管部门国家标准委

发布部门中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

技术归口国家标准委

起草单位中国电子科技集团公司第四十六研究所、中国电子技术标准化研究院

起草人丁丽、周智慧、郝建民、蔺娴

本标准规定了利用熔融氢氧化钾腐蚀法测定碳化硅单晶微管密度的方法。本标准适用于碳化硅单晶微管密度的测定。