电子柱气电测微仪
标准状态
发布于:2015-04-30
实施于:2015-10-01
废止
基本信息
标准简介
本标准规定了电子柱气电测微仪的术语和定义、型式与基本参数、要求、检验条件、检验方法、标志与包装等。本标准适用于分辨力为0.2μm、0.5μm、1μm,以电子柱(发光单元)显示的电子柱气电测微仪(以下简称气电测微仪)。
本标准规定了电子柱气电测微仪的术语和定义、型式与基本参数、要求、检验条件、检验方法、标志与包装等。本标准适用于分辨力为0.2μm、0.5μm、1μm,以电子柱(发光单元)显示的电子柱气电测微仪(以下简称气电测微仪)。