确定晶片坐标系规范

Specification for establishing a wafer coordinate system

GB/T 16596-2019现行国家标准

标准状态

发布于：2019-03-25

实施于：2020-02-01

废止

标准号GB/T 16596-2019

标准状态现行

发布日期2019-03-25

实施日期2020-02-01

中国标准分类号H80 半金属与半导体材料综合

国际标准分类号29.045 半导体材料

主管部门国家标准委

发布部门国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会

技术归口国家标准委

代替标准GB/T 16596-1996

起草单位有色金属技术经济研究院、浙江海纳半导体有限公司、上海合晶硅材料有限公司、有研半导体材料有限公司、浙江省硅材料质量检验中心

起草人卢立延、孙燕、楼春兰、胡金枝、潘金平、杨素心、李素青

本标准规定了使用直角坐标和极坐标建立晶片正面坐标系、背面坐标系和三维坐标系的程序。本标准适用于有图形和无图形的晶片坐标系的建立。该坐标系用于确定和记录晶片上的缺陷、颗粒等测试结果的准确位置。