真空镀膜设备通用技术条件

Vacuum coating plant generic specification

GB/T 11164-2011现行国家标准

标准状态

发布于：2011-11-21

实施于：2012-03-01

废止

标准号GB/T 11164-2011

标准状态现行

发布日期2011-11-21

实施日期2012-03-01

中国标准分类号J78 真空技术与设备

国际标准分类号23.160 真空技术

主管部门中国机械工业联合会

发布部门中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

技术归口中国机械工业联合会

代替标准GB/T 11164-1999

起草单位北京北仪创新真空技术有限责任公司、兰州真空设备有限责任公司、中国航天科技集团第五研究院510研究所等、上海曙光机械制造厂有限公司、成都南光机器有限公司

起草人陈月增、谢钧荣、温发兰、范立群、孙凯

本标准规定了真空镀膜设备的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存等要求。本标准适用于压力在100000/1 Pa～1000/1 Pa范围的真空蒸发类、溅射类、离子镀类真空镀膜设备(以下简称设备)。