扫描探针显微镜漂移速率测量方法
Measurement methods of drift rate of scanning probe microscope
标准状态
发布于：2012-12-31
实施于：2013-06-01
废止
基本信息
GB/T 29190-2012
现行
2012-12-31
2013-06-01
中国科学院
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
中国科学院
中国科学技术大学、上海市计量测试技术研究院
黄文浩、陈宇航、褚家如、李家文、李源、傅云霞
标准简介
本标准规定了SPM漂移速率的术语和定义、缩略语、测量步骤、性能参数规格,及基于SPM扫描图像的漂移速率测量基本方法。本标准适用于0.01nm/s到10 nm/s的漂移速率测量。本标准中的漂移测量不适用于图像校正。
内容预览
