单晶炉 TDR系列直拉法单晶炉
标准状态
发布于：2004-03-12
实施于：2004-08-01
已废止
基本信息
JB/T 10439-2004
已废止
2004-03-12
2004-08-01
国家发展和改革委员会
全国工业电热设备标准化技术委员会
西安理工大学晶体生长设备研究所
陈巨才
标准简介
本标准规定了对TDR系列直拉法单晶炉的各项要求，包括品种规格、技术要求、试验方法、检验规则及订购和供货等。 u3000u3000本标准适用于直拉法拉制半导体硅、锗等单晶的单晶炉。
内容预览
本标准规定了对TDR系列直拉法单晶炉的各项要求，包括品种规格、技术要求、试验方法、检验规则及订购和供货等。 u3000u3000本标准适用于直拉法拉制半导体硅、锗等单晶的单晶炉。