电子级水中痕量金属的原子吸收分光光度测试方法

Test method for measuringtrace metals in electronic grade water by atomic absorption spectrophotometry

GB/T 11446.5-1997已废止国家标准

标准状态

发布于：1997-09-01

实施于：1998-09-01

已废止

标准号GB/T 11446.5-1997

标准状态已废止

发布日期1997-09-01

实施日期1998-09-01

中国标准分类号L90 电子技术专用材料

国际标准分类号31.030 电子技术专用材料

主管部门工业和信息化部（电子）

技术归口工业和信息化部（电子）

起草单位中国科学院半导体研究所

本标准规定了用无火焰（或火焰）原子吸收分光光度计测定电子级水中痕量金属铜、锌、镍、钠、钾的测试方法。无火焰原子吸收分光光度适用于1～Ⅲ级电子级水中痕量金属的测定。其方法检测限低于10%。火焰原子吸收分光光度法适用于Ⅳ电子级水中痕量金属的测定。