在片微波测试系统散射参数校准规范
标准状态
发布于:2025-03-20
实施于:2025-03-20
废止
基本信息
JJF(电子)00103-2023
现行
2025-03-20
2025-03-20
标准简介
本校准规范适用于1GHz~110GHz输入输出型式为GSG型共面波导在片微波测试系统散射参数的校准,典型探针间距为150um、100um、50um。其它型式(如GS、GSGSG等)、不同间距的片上微波测试系统散射参数校准可参照此规范执行。在片微波测试系统主要用于裸芯片在片S参数测试,主要包括网络分析仪、探针和微波电缆等。