半导体器件微电子机械器件第3部分：拉伸试验用薄膜标准试验片

Semiconductor devices—Micro-electromechanical devices—Part 3: Thin film standard test piece for tensile testing

GB/T 42709.3-2026现行国家标准

标准状态

发布于：2026-04-30

实施于：2026-11-01

废止

标准号GB/T 42709.3-2026

标准状态现行

发布日期2026-04-30

实施日期2026-11-01

中国标准分类号L40 半导体分立器件综合

国际标准分类号31.200 集成电路、微电子学

主管部门工业和信息化部（电子）

发布部门国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会

技术归口工业和信息化部（电子）