硅片直径测量方法千分尺法

Silicon slices and wafers--Measuring of diameter--Micrometer method

GB/T 14140.2-1993已废止国家标准

标准状态

发布于：1993-02-06

实施于：1993-10-01

已废止

标准号GB/T 14140.2-1993

标准状态已废止

发布日期1993-02-06

实施日期1993-10-01

中国标准分类号H21 金属物理性能试验方法

国际标准分类号77.040.01 金属材料试验综合

主管部门国家标准化管理委员会

技术归口全国半导体设备和材料标准化技术委员会

起草单位洛阳单晶硅厂