高纯砷
标准状态
发布于:2026-04-15
实施于:2026-11-01
废止
基本信息
标准简介
本文件规定了高纯砷的分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及随行文件和订货单内容。本文件适用于质量分数不小于 99.999%的高纯砷的生产、检测及质量评价,产品主要用于制造砷化镓等化合物半导体材料、外延源以及半导体掺杂剂等
本文件规定了高纯砷的分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及随行文件和订货单内容。本文件适用于质量分数不小于 99.999%的高纯砷的生产、检测及质量评价,产品主要用于制造砷化镓等化合物半导体材料、外延源以及半导体掺杂剂等