真空技术 溅射离子泵 性能参数的测量
Vacuum technology - Sputter-ion pumps - Measurement of performance characteristics
标准状态
发布于：2010-12-23
实施于：2011-10-01
废止
基本信息
GB/T 25755-2010
现行
2010-12-23
2011-10-01
中国机械工业联合会
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
中国机械工业联合会
北京中科科仪技术发展有限责任公司、沈阳真空技术研究所
邹蒙、张勤德、李春影、朱国精、马殿理
标准简介
本标准规定了溅射离子泵(以下简称离子泵)性能参数的测量方法。 本标准适用于名义体积流率大于10L／s的离子泵。 本标准测量体积流率的压力范围从1.5X10-3Pa到1X10-7Pa。 注:本标准保证了离于泵性能参数的澜量在相同的条件下按相同的方法进行．由此做到由各制造厂家或务实验室所作的测量与制造厂家在样本中给定的资料是可比的。
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