激光衍射法反射光栅校准规范

Calibration Specification for Reflection Gratings by Laser Diffraction

JJF 1967-2022现行计量规范

标准状态

发布于：2022-04-29

实施于：2022-10-29

废止

标准号JJF 1967-2022

标准状态现行

发布日期2022-04-29

实施日期2022-10-29

发布部门国家市场监督管理总局

技术归口全国新材料与纳米计量技术委员会

起草单位中国计量科学研究院

起草人殷聪、石春英

本规范适用于平均间距为（140~2000）nm、能观测到衍射现象的一维或二维反射光栅的校准。