纳米技术 原子力显微术测定纳米薄膜厚度的方法
Nanotechnology—Method for the measurement of the nanofilm-thickness by atomic force microscopy
标准状态
发布于：2018-12-28
实施于：2018-12-28
废止
基本信息
GB/T 36969-2018
现行
2018-12-28
2018-12-28
中国科学院
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
中国科学院
上海交通大学、纳米技术及应用国家工程研究中心
李慧琴、金承钰、韦菲菲、梁齐、何丹农
标准简介
本标准规定了使用原子力显微术（AFM）测量纳米薄膜厚度的原理、测试条件、设备、样品、测试步骤和数据处理。 本标准适用于表面均匀、平整的纳米范围厚度的无机材料薄膜。较厚的和一些有机薄膜的膜厚测定也可参照执行。
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