电子薄膜用高纯钛溅射靶材

YS/T 893-2013现行行业标准

标准状态

发布于：2013-10-17

实施于：2014-03-01

废止

标准号YS/T 893-2013

标准状态现行

发布日期2013-10-17

实施日期2014-03-01

中国标准分类号H64 稀有轻金属及其合金

国际标准分类号77.150.50 钛产品

发布部门工业和信息化部

技术归口全国有色金属标准化技术委员会

起草单位有研亿金新材料股份有限公司、宁波江丰电子材料有限公司

起草人何金江、董亭义等

本标准规定了电子薄膜用高纯钛溅射靶材的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及质量证明与合同(订单)等内容。本标准适用于电子薄膜制造用的各类钛溅射靶材。