氮化镓外延片及衬底片通用规范

General specification for epitaxial wafers and substrates based on gallium nitride

GB/T 37053-2018现行国家标准

标准状态

发布于：2018-12-28

实施于：2019-07-01

废止

标准号GB/T 37053-2018

标准状态现行

发布日期2018-12-28

实施日期2019-07-01

中国标准分类号H83 化合物半导体材料

国际标准分类号29.045 半导体材料

主管部门国家标准委

发布部门国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会

技术归口国家标准委

起草单位东莞市中镓半导体科技有限公司、苏州纳维科技有限公司、中国电子技术标准化研究院、合肥彩虹蓝光科技有限公司、南京大学电子科学与工程学院

起草人丁晓民、刘南柳、修向前、孙永健、潘尧波、徐科、王香、张国义

本标准规定了氮化镓外延片（以下简称外延片）及氮化镓衬底片（以下简称衬底片）的通用规范，包括产品分类、要求、检验方法、检验规则以及标志、包装、运输和储存等。本标准适用于氮化镓外延片与氮化镓衬底片。产品主要用于发光二极管、激光二极管、探测器等光电器件，以及微波与电力电子功率器件。