半导体器件烧结炉能耗分等

标准状态

基本信息

标准简介

本标准规定了半导体器件烧结炉能耗分等。 本标准适用于电子工业企业半导体器件容量大于或等于20kM的烧结炉（以下简称烧结炉），单台或炉群。

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