碳基薄膜 分类及命名
Carbon based films—Classification and designations
标准状态
发布于：2023-09-07
实施于：2024-04-01
废止
基本信息
GB/T 43104-2023
现行
2023-09-07
2024-04-01
中国机械工业联合会
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
中国机械工业联合会
中国机械工业联合会
中国科学院宁波材料技术与工程研究所、宁波新材料测试评价中心有限公司、广东省科学院新材料研究所、东莞市华升真空镀膜科技有限公司、武汉材料保护研究所有限公司、中国科学院兰州化学物理研究所、中国矿业大学
汪爱英、段海涛、郭鹏、柯培玲、谢开锋、王鹏、柴利强、林松盛、石倩、李晓伟、林海天
标准简介
本文件规定了碳基薄膜的分类、命名及简称。本文件所述的碳基薄膜是以碳为主要成分，并由物理气相沉积（PVD）或化学气相沉积（CVD）制备所得的薄膜。碳基薄膜包括非晶碳基薄膜〔又称为类金刚石薄膜（DLC)]，CVD金刚石薄膜、石墨薄膜和类聚合物碳基薄膜。 本文件适用于工业规模生产的碳基薄膜。本文件不适用于尚未实现工业规模生产的其余种类碳基薄膜。 本文件只涉及碳基薄膜材料，不涉及由主体功能层和上／下附加层组成的复合涂层。 薄膜中各层组分和／或性能随厚度变化的薄膜称为梯度薄膜。本文件涉及的碳基薄膜均指非梯度薄膜。
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