表面化学分析 中等分辨俄歇电子能谱仪 元素分析用能量标校准
Surface chemical analysis—Medium resolution auger electron spectrometers—Calibration of energy scales for elemental analysis
标准状态
发布于：2021-12-31
实施于：2022-07-01
废止
基本信息
GB/T 29732-2021
现行
2021-12-31
2022-07-01
中国科学院
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
中国科学院
GB/T 29732-2013
清华大学、中国石油大学（北京）
姚文清、杨立平、段建霞、李展平、徐同广、王雅君
标准简介
本文件规定了俄歇电子能谱仪动能能量标不确定度为3 eV时的校准方法，用于识别表面常规元素。另外，本文件还规定了一种用于确定校准周期的方法。 本文件适用于直接模式或微分模式的仪器分辨率小于或等于0.5%，微分模式调制幅度的峰值为2eV，配有惰性气体离子枪或其他样品清洁方法，具有4 keV或更高束能电子枪的谱仪。
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