电子工业用气体氦

Gas for electronic industry - Helium

GB/T 16943-2009已废止国家标准

标准状态

发布于：2009-10-30

实施于：2010-05-01

已废止

标准号GB/T 16943-2009

标准状态已废止

发布日期2009-10-30

实施日期2010-05-01

中国标准分类号G86 工业气体与化学气体

国际标准分类号71.100.20 工业气体

主管部门国家标准委

发布部门中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

技术归口国家标准委

代替标准GB/T 16943-1997

起草单位西南油气田分公司成都天然气化工总厂、西南化工研究设计院、北京氦普北分气体工业有限公司

起草人刘泽军、付永成、赵俊秀、周鹏云

本标准规定了氦的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。本标准适用于以深冷法从天然气、空气和工厂弛放气中提取的气态和液态氦，以及经纯化方法得到的氦。它们在半导体制照中用作清洗气、加压气，也用作载气和保护气等。