银靶
Silver target
标准状态
发布于：2011-01-14
实施于：2011-11-01
已废止
基本信息
GB/T 26307-2010
已废止
2011-01-14
2011-11-01
中国有色金属工业协会
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
中国有色金属工业协会
北京有研亿金新材料股份有限公司
闫琳、杨华、雷继锋、熊晓东、李蕊、杨永刚、江轩
标准简介
本标准规定了银靶的要求、试验方法、检验规则和标志，包装、运输，贮存及质量证明书与订货单(或合同)内容。 本标准适用于半导体器件用的各类银溅射靶材(以下简称银靶)。其他用途的靶材也可参照使用。
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