连续式光学磁控溅射镀膜设备

Continuous optical magnetron sputtering coating equipment

T/GVS 017-2024现行团体标准

标准状态

发布于：2024-12-24

实施于：2024-12-24

废止

标准号T/GVS 017-2024

标准状态现行

发布日期2024-12-24

实施日期2024-12-24

中国标准分类号J78 真空技术与设备

国际标准分类号23.160 真空技术

发布部门广东省真空学会

团体名称广东省真空学会

起草单位广东省新兴激光等离子体技术研究院、等离子体装备科技（广州）有限公司、离子束（广州）装备科技有限公司、广州市尤特新材料有限公司。

起草人朱昆、李彬、曹祯烨、曹健辉、刘嘉静、杨锐、郑铭浩、周志宏。

本文件规定了连续式光学磁控溅射镀膜设备的术语和定义、组成、正常工作条件、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本文件适用于连续式光学磁控溅射镀膜设备的研发、生产、检验和销售。