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掩模对准曝光机测试方法

SJ/T 10274-1991现行行业标准

标准状态

发布于：1991-11-12
实施于：1992-01-01
废止

基本信息

SJ/T 10274-1991
现行
1991-11-12
1992-01-01
N38 光学设备
31.550
电子工业部

标准简介

本标准规定了测试掩模对准曝光机的一般要求和方法。 本标准适用于接触式和接触一接近式曝光机。

内容预览

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