硅外延用三氯氢硅中总碳的测定 气相色谱法
标准状态
发布于：2015-04-30
实施于：2015-10-01
废止
基本信息
YS/T 1059-2015
现行
2015-04-30
2015-10-01
工业和信息化部
全国有色金属标准化技术委员会
中锗科技有限公司、昆明冶研新材料股份有限公司、江苏中能硅业科技发展有限公司等
刘英杰、郑华荣、柯尊斌等
标准简介
本标准适用于硅外延用三氯氢硅中总碳含量的测定，测定范围为0.00005%～0.005%。
内容预览
本标准适用于硅外延用三氯氢硅中总碳含量的测定，测定范围为0.00005%～0.005%。