多晶硅生产尾气中硅烷含量的测定气相色谱法

YS/T 1290-2018现行行业标准

标准状态

发布于：2018-10-22

实施于：2019-04-01

废止

标准号YS/T 1290-2018

标准状态现行

发布日期2018-10-22

实施日期2019-04-01

中国标准分类号H17 半金属及半导体材料分析方法

国际标准分类号77.040 金属材料试验

发布部门工业和信息化部

本标准规定了硅烷法生产多晶硅尾气中硅烷含量的气相色谱测定方法。本标准适用于硅烷法生产多晶硅尾气中硅烷含量的测定。测定范围为0.05%-10.00%。