硅片包装

YS/T 28-2015已废止行业标准

标准状态

发布于：2015-04-30

实施于：2015-10-01

已废止

标准号YS/T 28-2015

标准状态已废止

发布日期2015-04-30

实施日期2015-10-01

中国标准分类号H80 半金属与半导体材料综合

国际标准分类号29.045 半导体材料

发布部门工业和信息化部

技术归口全国有色金属标准化技术委员会

代替标准YS/T 28-1992

起草单位杭州海纳半导体有限公司、有研新材料股份有限公司、南京国盛电子有限公司等

起草人王飞尧、孙燕、马林宝等

本标准适用于硅单晶抛光片、外延片、SOI等硅片的洁净包装、硅单晶研磨片(简称硅研磨片)包装和太阳能电池用硅片包装，使其在运输、贮存过程中避免再次沾污和破碎。