外延钉缺陷的检验方法

YS/T 24-2016现行行业标准

标准状态

发布于：2016-04-05

实施于：2016-09-01

废止

标准号YS/T 24-2016

标准状态现行

发布日期2016-04-05

实施日期2016-09-01

中国标准分类号H21 金属物理性能试验方法

国际标准分类号77.040 金属材料试验

发布部门工业和信息化部

代替标准YS/T 24-1992

本标准规定了外延钉缺陷的检验方法。本标准适用于判断硅外延片上是否存在高度不小于4μm的钉缺陷。如果钉缺陷数量比较少且彼此不相连，可对钉缺陷进行计数。本标准不能测量钉缺陷的高度。