电工术语微机电装置

Electrotechnical terminology—Micro-electromechanical devices

GB/T 2900.104-2021现行国家标准

标准状态

发布于：2021-10-11

实施于：2022-05-01

废止

标准号GB/T 2900.104-2021

标准状态现行

发布日期2021-10-11

实施日期2022-05-01

中国标准分类号K04 基础标准和通用方法

国际标准分类号01.040.29 电气工程（词汇）

主管部门国家标准委

发布部门国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会

技术归口国家标准委

起草单位中机生产力促进中心、广东瑞克斯智能科技有限公司、芜湖市标准化研究院、漳州市太龙照明工程有限公司、广东万江配电有限公司、芜湖中集瑞江汽车有限公司、北京大学、东莞市吉铼升电机股份有限公司、福州华虹智能科技股份有限公司、浙江博亚精密机械有限公司

起草人蒯勇、张威、范远斌、申延智、王本雄、蓝秀堂、李桂芳、李婧、倪圣叨、李英、姜圆、陆学贵

本文件界定了微机电装置的通用、科学与工程、材料科学、功能元素、加工技术、键合装配技术、测量技术和应用相关术语。本文件适用于微机电技术领域。