真空技术四极质谱检漏方法

Vacuum technology—Leak testing method by quadrupole mass spectrometer

GB/T 35049-2018现行国家标准

标准状态

发布于：2018-05-14

实施于：2018-12-01

废止

标准号GB/T 35049-2018

标准状态现行

发布日期2018-05-14

实施日期2018-12-01

中国标准分类号J78 真空技术与设备

国际标准分类号23.160 真空技术

主管部门中国机械工业联合会

发布部门国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会

技术归口中国机械工业联合会

起草单位北京卫星环境工程研究所、安徽皖仪科技股份有限公司、合肥智海光电技术有限公司、沈阳真空技术研究所

起草人窦仁超、孙立臣、孟冬辉、刘磊、史纪军、黄文平、喻新发、邵容平、张立伟、王勇、闫荣鑫、洪晓鹏、任国华、冯琪、陈然、韩琰、王健、刘兴悦、孙立志、王玲玲

本标准规定了四种常用的四极质谱检漏方法实施的一般要求，每种检漏方法在应用对象、系统组成、检漏程序等方面的要求以及对检漏文件的要求．本标准适用于真空行业以及其他行业中采用四极质谱仪进行的泄漏检测工作，适用于部组件级、分系统级以及系统级产品的密封性能测试。