电子工业用气体氢

Hydrogen for electronic industry

GB/T 16942-2009已废止国家标准

标准状态

发布于：2009-10-30

实施于：2010-05-01

已废止

标准号GB/T 16942-2009

标准状态已废止

发布日期2009-10-30

实施日期2010-05-01

中国标准分类号G86 工业气体与化学气体

国际标准分类号71.100.20 工业气体

主管部门国家标准委

发布部门中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

技术归口国家标准委

代替标准GB/T 16942-1997

起草单位中国计量科学研究院、西南化工研究设计院

起草人周泽义、周鹏云

本标准规定了电子工业用氢的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。本标准适用于以氢气为原料经净化制取的瓶装、集装格装和管道输送的电子工业用氢气。它们主要被用来提供还原气氛，作为外延工艺的载气以及等离子体蚀刻剂的配气原料。