原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法
Test method for the surface roughness by atomic force microscope for sputtered thin films
标准状态
发布于：2014-09-30
实施于：2015-04-15
废止
基本信息
GB/T 31227-2014
现行
2014-09-30
2015-04-15
中国科学院
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
中国科学院
上海交通大学、纳米技术及应用国家工程研究中心
李慧琴、梁齐、张冰、路庆华、何丹农
标准简介
本标准规定了使用原子力显微镜(AFM)测量表面粗糙度的方法本标准适用于测量溅射成膜方法生成的、平均粗糙度Ra小于100nm的薄膜。 其他非溅射薄膜的表面粗糙度的测量可以参考此方法。
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