高纯砷化学分析方法电感耦合等离子体质谱法(ICP-MS)测定高纯砷中杂质含量

YS/T 34.1-2011现行行业标准

标准状态

发布于：2011-12-20

实施于：2012-07-01

废止

标准号YS/T 34.1-2011

标准状态现行

发布日期2011-12-20

实施日期2012-07-01

中国标准分类号H17 半金属及半导体材料分析方法

国际标准分类号77.040.30 金属材料化学分析

发布部门工业和信息化部

技术归口全国有色金属标准化技术委员会

代替标准YS/T 34.1-1992;YS/T 34.2-1992

起草单位峨嵋半导体材料厂、峨嵋山嘉美高纯材料有限公司

起草人程高明、邹同贵等

本标准规定了高纯砷中金属杂质含量的测定方法，采用电感耦合等离子质谱法测定砷中镁、铬、镍、铜、锌、银、锑、铅、铋、钠、钾、铝、钙、铁等14个杂质含量。本标准适用于99.999%～99.99999%高纯砷中金属杂质含量的测定。测定范围 1×10-7% ～1000×10-7%。