硅外延用三氯氢硅
Trichlorosilane for silicon epitaxial
标准状态
发布于：2023-08-06
实施于：2024-03-01
废止
基本信息
GB/T 30652-2023
现行
2023-08-06
2024-03-01
国家标准委
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
国家标准委
GB/T 30652-2014
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
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标准简介
本文件规定了硅外延用三氯氢硅（SHCl3）的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、随行文件及订货单内容。 本文件适用于以三氯氢硅为原料精制提纯而制得的硅外延用三氯氢硅（以下简称产品）。
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