微电子技术用贵金属浆料测试方法方阻测定

Test methods of precious metals pastes used for microelectronics Determination of sheet resistance

GB/T 17473.3-2008已废止国家标准

标准状态

发布于：2008-03-31

实施于：2008-09-01

已废止

标准号GB/T 17473.3-2008

标准状态已废止

发布日期2008-03-31

实施日期2008-09-01

中国标准分类号H68 贵金属及其合金

国际标准分类号77.120.99 其他有色金属及其合金

主管部门中国有色金属工业协会

发布部门中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

技术归口中国有色金属工业协会

代替标准GB/T 17473.3-1998

起草单位贵研铂业股份有限公司

起草人金勿毁、刘继松、李文琳

本部分规定了微电子技术用贵金属浆料方阻的测试方法。本部分适用于微电子技术用贵金属浆料方阻的测定。