光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则
Guidelines for photomask defect classification and size definition
标准状态
发布于：1997-06-20
实施于：1998-03-01
废止
基本信息
标准简介
本准则的范围是制定有关光掩模缺陷分类用的标准术语，并规定缺陷大小的表达方法。确定光掩模缺陷时应遵循这个准则。
内容预览
Guidelines for photomask defect classification and size definition
本准则的范围是制定有关光掩模缺陷分类用的标准术语，并规定缺陷大小的表达方法。确定光掩模缺陷时应遵循这个准则。