电子级水中微粒的仪器测试方法

Test method for particles in electronic grade water by instrument

GB/T 11446.9-2013现行国家标准

标准状态

发布于：2013-12-31

实施于：2014-08-15

废止

标准号GB/T 11446.9-2013

标准状态现行

发布日期2013-12-31

实施日期2014-08-15

中国标准分类号L90 电子技术专用材料

国际标准分类号31.030 电子技术专用材料

主管部门工业和信息化部（电子）

发布部门中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

技术归口工业和信息化部（电子）

代替标准GB/T 11446.9-1997

起草单位信息产业部专用材料质量监督检验中心、中国电子技术标准化研究院、中国科学院半导体研究所、中国电子科技集团公司第四十六研究所

起草人王奕、褚连青、何秀坤、段曙光

GB/T 11446的本部分规定了电子级水中微粒的仪器测定方法。本部分适用于电子级水中微粒的连续式或单次检测计数，测定的微粒粒径不小于0.05μm,微粒的浓度范围为0~10000个／mL。