电子气体 四氟甲烷
Electronic gas—Tetrafluoromethane
标准状态
发布于：2024-04-25
实施于：2024-11-01
废止
基本信息
GB/T 43976-2024
现行
2024-04-25
2024-11-01
国家标准委
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
国家标准委
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
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标准简介
本文件规定了电子级四氟甲烷的技术要求、检验规则、标志、包装、运输、贮存及安全信息的要求，描述了相关的试验方法。 本文件适用于由工业四氟甲烷提纯制备的四氟甲烷。
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