扩散炉能源消耗规范

SJ/T 11451-2022现行行业标准

标准状态

发布于：2022-10-20

实施于：2023-01-01

废止

标准号SJ/T 11451-2022

标准状态现行

发布日期2022-10-20

实施日期2023-01-01

中国标准分类号L97 加工专用设备

国际标准分类号27.010 能源和热传导工程综合

发布部门工业和信息化部

技术归口中国电子技术标准化研究院

代替标准SJ/T 11451-2013

提出单位中国电子技术标准化研究院

起草单位北京北方华创微电子装备有限公司、中国电子技术标准化研究院、晶澳太阳能科技股份有限公司、株洲中车时代半导体有限公司、英利能源（中国）有限公司、北京赛西认证有限责任公司

起草人李补忠、吴秀祥、孙朋涛、张颖、郝晓明、赵永猛、刘月雷、张红妹、张生春、李琳

本文件规定了扩散炉能源消耗等级指标、可比单耗计算方法和评价规则。本文件适用于工作温度在400℃ ~ 1350℃的扩散/氧化、退火、合金工艺使用的扩散炉。